Heater
´Ü ¿­ Àç
°¢Á¾ JIG
SIC Coating
Slicing Beam
 
°¢Á¾ JIG
 
»ç¿ëÁ¶°Ç (¿Âµµ, ºÐÀ§±â, ³»±¸¼º, dust ¹ß»ý ¹®Á¦ µî)¿¡ µû¶ó ź¼Ò, Èæ¿¬ C/C composite, BN, ¸ô¸®ºêµ§, Calicum silicate, Alumina µî ´Ù¾çÇÑ ¼ÒÀç ¼±ÅÃÀÌ °¡´ÉÇϸç, Çüŵµ ´Ü¼øÇÑ Plate ¶Ç´Â Disc »Ó ¾Æ´Ï¶ó Crucible ¹× º¹ÀâÇÑ Á¶¸³Ç°¿¡ À̸£±â±îÁö °í°´ÀÇ ¿ä±¸¿¡ "Á¾ÇÕÀû"À¸·Î ´ëÀÀÇØ µå¸³´Ï´Ù.
 
[C/C plate, boat ¹× Á¶¸³ box] [¸ô¸®ºêµ§ Á¶¸³ box] [Calcium Silicate]
 
Graphite plate, boat, crucible ¹× Á¶¸³ box
COP graghite ¹× Extruded graphite¸¦ ¼ÒÀç·Î ÇÑ ¸ðµç Size ¹× ÇüÅÂÀÇ Jig Á¦ÀÛ°¡´É
 
C/C Plate, Boat ¹× Á¶¸³ box
C/C compositeÀº Graphite¿¡ ºñÇØ ³»±¸¼º, ³»»êÈ­µµ°¡ ¶Ù¾î³¯ »Ó ¾Æ´Ï¶ó, °­µµ°¡ ³ô°í °¡º­¿ö Ä¡±¸ÀÇ µÎ²²¸¦ ¾ã°Ô Á¦ÀÛÇÏ¿© ¼Ò°á·Î ¶Ç´Â ¿­Ã³¸®·ÎÀÇ »ý»ê¼ºÀ» ȹ±âÀûÀ¸·Î ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖÀ½.
 
¸ô¸®ºêµ§ Boat ¹× Á¶¸³ box
Graphite dust¿¡ ÀÇÇÑ ¿À¿° ¿ì·Á°¡ ÀÖ´Â °æ¿ì Mo boat ¹× Á¶¸³ box Á¦ÀÛ °ø±Þ.
 
Calcium silicate (Lumiboard) Ä¡±¸
¾Ë·ç¹Ì´½ ¿ëÀ¶ °øÁ¤ÀÇ Float µî °¢Á¾ Ä¡±¸¿¡ »ç¿ë.
 
¿¬·áÀüÁöÁö±× Á¦ÀÛ
ÀÚµ¿Â÷ ¿¬·áÀüÁö Áö±× Á¦ÀÛ